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BrukerDektakPro布魯克臺(tái)階儀DektakPro™以其多功能,使用的便捷性和在薄膜厚度、臺(tái)階高度、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測(cè)量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統(tǒng),具有4?重復(fù)性的表現(xiàn),并提供200毫米平臺(tái)選項(xiàng),在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。DektakPro在表面測(cè)量方面設(shè)立了新的目標(biāo),是微電子......
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XRD即X射線衍射,通常應(yīng)用于晶體結(jié)構(gòu)的分析。X射線是一種電磁波,入射到晶體時(shí)在晶體中產(chǎn)生周期性變化的電磁場(chǎng)。引起原子中的電子和原子核振動(dòng),因原子核的質(zhì)量很大振動(dòng)忽略不計(jì)。振動(dòng)著的電子是次生X射線的波源,其波長(zhǎng)、周相與入射光相同。基于晶體結(jié)構(gòu)的周期性,晶體中各個(gè)電子的散射波相互干涉相互疊加,稱之為衍射。散射波周相一致相......